用于儲存真空計校準參數及測量數據于真空計結構上的方法及裝置

一種用以借由組合離子化真空計與至少一其它的真空感測器來(lái)測量氣體壓力的方法及裝置。耦接于真空計的非依電性記憶體含有依據工廠(chǎng)校準而定的各個(gè)個(gè)別感測器唯一的校準參數。該非依電性記憶體可含有用于一熱敏真空感測器的校準參數,以補償由該離子化真空計所產(chǎn)生的溫度梯度。該等校準參數是當離子化真空計開(kāi)啟及關(guān)閉時(shí)所判斷的校準數據的函數。該非依電性記憶體可儲存該真空計的一視窗的測試數據,該非依電性記憶體更新于預定的時(shí)間間隔及回應于一諸如錯誤事件的事件,以協(xié)助調查真空計故障或失效的原因。