本發明公開了一種基于脈沖光探測磁共振的電磁場近場成像系統和方法,該系統由激光泵浦光路、微波源、金剛石NV色心探頭、CCD相機單元、同步系統、位移掃描平臺、控制軟件及數據分析成像系統所構成。該系統采用含有NV色心的金剛石大塊單晶做探測單元,并采用靜磁場將金剛石NV色心的磁共振峰劈開成8個峰,8個共振峰對應于金剛石晶格結構四個晶軸方向<111>,<1?11>,<?111>和<11?1>,通過測量每個共振峰的拉比頻率,獲得垂直于該晶軸方向的圓偏振微波場強度,通過對四個方向的微波場強度進行綜合計算,再構出微波矢量的強度和方向。通過對被測量微波芯片的局部區域微波近場高分辨成像,可以為芯片失效分析提供定量的數據。
聲明:
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