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MOS管界面態的測試方法

797   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:13
本發明提供了一種MOS管界面態的測試方法,所述測試方法包括如下步驟:步驟1.采用電荷泵測試法測得一條電荷泵電流曲線,通過漏端開路和源端開路分別獲得另外兩條電荷泵電流曲線;步驟2.將這三條曲線相同部分和不同部分進行分離可分別得到源、漏和溝道處電荷泵電流;步驟3.通過源、漏和溝道處電荷泵電流可獲得這三處界面態密度。采用此發明方法可以簡單快速的分離MOS管的源、漏及溝道界面態,無需繁瑣復雜的計算過程就可為器件制造工藝評價以及器件失效分析提供良好的判定依據和分析途徑。
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聲明：
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