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ESD保護單元的測試及加固方法

1042   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 09:00:12
本發明公開了一種ESD保護單元的測試及加固方法,ESD保護單元設置在待測試芯片中,包括:對待測試芯片施加ESD放電應力;對待測試芯片的管腳進行監測,根據監測結果判斷是否為ESD失效;若判斷結果為ESD失效,則對待測試芯片進行開封,通過結構分析確定待測試芯片的ESD保護單元中的失效點;對ESD保護單元中的失效點進行加固仿真測試;在測試結果滿足要求時,對待測試芯片進行加固;對加固后的芯片重新施加ESD放電應力,并進行監測,直至結果判斷為ESD有效為止。本實施例提供的ESD保護單元的測試及加固方法,通過EDA軟件對ESD保護單元進行仿真測試,保證芯片通過ESD設計要求并在正常工作狀態下具備較高的魯棒性。
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