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測試3DNAND字線電阻的方法

1182   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:11
本發明涉及存儲器失效分析技術領域，尤其涉及一種測試3D?NAND字線電阻的方法，包括：步驟S1，將3D?NAND減薄至暴露每層字線的第一接觸孔和第二接觸孔；步驟S2，在所述字線的第一端，形成金屬墊覆蓋每層所述字線的所述第一接觸孔，以將每層所述字線的第一端電連接；步驟S3，在所述字線的第二端，選取一層待測試字線，在所述待測試字線的所述第二接觸孔上標記出待測點；步驟S4，使用導電膠將所述金屬墊引出至臨近所述待測點的位置；步驟S5，選取所述導電膠上臨近所述待測點的一量測點，使用探針量取所述量測點與所述待測點之間的電阻值，作為所述待測試字線的所述第一端和所述第二端之間的電阻值。
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聲明：
“測試3DNAND字線電阻的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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失效分析
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