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適用于TDDB的原位偵測熱點方法

1180   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:11
本發明提供一種適用于TDDB的原位熱點偵測方法，包括：提供待測樣品，對所述待測樣品的電性參數進行驗證；定義應力條件及偵測熱點的初始應力條件；對所述待測樣品施加應力；觀測中間數據，若所述待測樣品達到偵測熱點的初始應力條件，施加熱點偵測電壓偵測熱點；若偵測到熱點，則進行失效分析或繼續TDDB測試。本發明中，實現了原位對失效樣品熱點的偵測，及時精準的反應了樣品的失效位置，為進一步失效分析提供了有力保障。
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