本發明涉及一種納米探針及納米探針測試儀,包括針臂,所述針臂的一端用于連接測試儀,另一端設置有用于同時與待失效分析半導體器件同一極性兩個以上鎢栓接觸的觸頭。在待失效分析半導體器件電學特性測試中,此納米探針可同時接觸待失效分析半導體器件同一極性多個鎢栓,用多個鎢栓共同對應的電學特性表征待失效分析半導體器件的實際電學特性,能夠有效避免個別納米探針觸頭與鎢栓接觸不良,或個別鎢栓下沒有硅化物等因素導致的測試誤差,從而更精準的反映待失效分析半導體器件的實際電學特性。
聲明:
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我是此專利(論文)的發明人(作者)