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納米探針測試方法

722   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:11
本發明提供了一種納米探針測試方法，用于對一樣品的目標截面進行檢測，包括：提供所述樣品；在所述樣品上標記出包含所述目標截面的目標區域，沿著所述目標區域的邊界切割以得到待測部分，并使所述待測部分脫離所述樣品，所述目標截面為所述待測部分沿豎直方向的某一截面；切割所述待測部分的側面以使所述目標截面暴露；旋轉所述待測部分以使所述目標截面朝上，并固定在一光片上；將所述光片及所述光片上的待測部分一起轉移至納米探針臺上后固定住所述光片，并利用納米探針對所述目標截面進行測試。通過在樣品中將目標截面切割出來，以便于利用納米探針直接測試所述目標截面，得到準確的電性數據，從而便于進行精確的失效分析。
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聲明：
“納米探針測試方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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