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介質層可靠性測試結構及測試方法

796   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:10
本發明公開了一種介質層可靠性測試結構及測試方法，屬于半導體技術領域，所述介質層可靠性測試結構包括：襯底，其上設置多個有源區；至少一個待測試介質層，設置在所述有源區上；多晶硅層，設置在所述待測試介質層上；輔助金屬結構，設置在所述多晶硅層上，且所述輔助金屬結構將所述多晶硅層區分為多種不規則的區域；以及輔助多晶硅結構，設置在所述襯底上，且環繞所述多晶硅層設置。通過本發明提供的一種介質層可靠性測試結構及測試方法，可提高失效分析的準確率和效率。
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聲明：
“介質層可靠性測試結構及測試方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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