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光刻版及晶圓或晶圓承載臺沾污的檢測方法

992   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:06
本申請提供了一種光刻版及晶圓或晶圓承載臺沾污的檢測方法。該光刻版包括版圖，版圖具有等第一間距分布的多個標記區域，標記區域的寬度為W1，第一間距與寬度相等，標記區域具有等第二間距分布的多個子標記，第二間距為W2。該版圖的每一個子標記區域在干涉圖形中均會出現一個干涉峰，當某處的標記出現異常時，對應的干涉峰也會出現偏移或振蕩，能夠讀取到明顯的干涉信號變化，因此其對沾污的檢測靈敏度較高；且該版圖還可以覆蓋到晶圓的邊緣，能夠靈敏及時地檢測到晶圓或晶圓承載臺上的沾污，進而避免了由于沾污造成器件失效需要的返工的問題，提高了器件的產率及良率。
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