合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置：中冶有色 >

有色技術頻道 >

有色金屬技術

礦山技術

冶金技術

材料制備及加工技術

環境保護技術

分析檢測技術

> 分析檢測技術

> 失效分析技術

> 采用斷面切割腐蝕技術檢測硅晶片體內微缺陷的方法

采用斷面切割腐蝕技術檢測硅晶片體內微缺陷的方法

970   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:03
一種采用斷面切割腐蝕技術檢測硅晶片體內微缺陷的方法，適用于半導體硅襯底片生產廠對硅晶片體內缺陷的檢測和控制，及時發現襯底片不良，減少成品器件的失效。本發明采用三次循環濕氧高溫熱氧化工藝和斷面切割技術，使常規檢測方法無法探測到的體內缺陷在多次熱氧化過程中充分綴飾并長大，然后將氧化后的硅晶片選擇表面不同位置切割成寬度為1.5至2.0cm的硅晶片長條（1），經過擇優腐蝕后用雙面膠將硅晶片長條（1）背面粘接在四氟墊塊（2）上，用光學顯微鏡觀察斷面（3）形貌，并采用連續掃描法計數微觀下的缺陷密度。本發明的檢測方法，適合大規模和批量生產的工廠使用。
登錄解鎖全文
聲明：
“采用斷面切割腐蝕技術檢測硅晶片體內微缺陷的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
分享 0
         
舉報 0
收藏 0
反對 0
點贊 0
標簽：
失效分析
上一個：多聯空調故障檢測方法、裝置及多聯空調
下一個：包裝機條盒缺包檢測裝置

與 “采用斷面切割腐蝕技術檢測硅晶片體內微缺陷的方法” 相關技術

? 碳纖維復合材料層間剪切強度試樣的制備和檢測方法
? 水平拉伸力學試驗機系統
? 重金屬污染土壤用的檢測裝置
? 便攜的痕量重金屬分析儀
? 自吸水采樣式水質重金屬分析儀
? 大氣采樣及監測車
? 土壤手持式重金屬分析儀
? 方便操作的重金屬檢測儀
? 方便抓握手持的土壤重金屬分析儀
? 土壤污染調查檢測裝置

相關失效分析設備推薦

臺式電導率儀
24孔雙區控溫智能消解儀
水質多參數水質檢測儀
手持泵吸多氣體檢測儀
500KN機械式拉壓疲勞試驗機
全國熱門有色金屬技術推薦
江蘇通用技術 北京礦山技術 江蘇冶金技術 北京冶金技術 江蘇材料制備及加工技術 常州材料制備及加工技術 江蘇新能源材料技術 江蘇加工技術 北京材料制備及加工技術 福建材料制備及加工技術 江蘇環境保護技術 江蘇廢水處理技術 江蘇固/危廢處置技術 北京環境保護技術 北京廢水處理技術
展開更多 +

 

中冶有色技術平臺

最新更新技術

?碳纖維復合材料層間剪切強度試樣的制備和檢測方法
?水平拉伸力學試驗機系統
?重金屬污染土壤用的檢測裝置
?便攜的痕量重金屬分析儀
?自吸水采樣式水質重金屬分析儀
?大氣采樣及監測車
?土壤手持式重金屬分析儀
?方便操作的重金屬檢測儀
?方便抓握手持的土壤重金屬分析儀
?土壤污染調查檢測裝置

報名參會
更多+

2025全國有色金屬材料加工與成形技術交流大會
2025全國有色金屬材料加工與成形技術交流大會
2025年07月16日 ~ 18日
2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
2025年07月16日 ~ 18日
第二屆全國海洋工程及船舶材料技術交流會
第二屆全國海洋工程及船舶材料技術交流會
2025年07月18日 ~ 20日
第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
2025年07月23日 ~ 26日
第二屆退役新能源器件循環利用技術交流會
第二屆退役新能源器件循環利用技術交流會
2025年07月24日 ~ 26日

報告下載

1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取
下載:139
2 取、制樣安全淺析
下載:131
3 取、制樣現狀及未來規劃/需求
下載:108
4 自動化樣品制備助力準確高效的礦
下載:99
5 樣品變質引起采制樣和結算問題
下載:96
6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點
下載:95
7 礦產品人工取樣方案的制定及案例
下載:93
8 用于X熒光分析的樣品前處理及其
下載:91
9 不均勻樣品給第三方檢測機構和貿
下載:90
10 非常規礦產品取制樣方法的探討
下載:89
赤泥綜合利用研究報告2025
推廣

熱門技術
更多+

1防爆閥保護膜
2壓力平衡機構
3水電站的尾水預埋件
4化工礦產有色金屬的檢測機構
5礦石分類與實時定量分析的光譜檢測新方法
6礦石中有色金屬成分和含量的檢測裝置
7有色金屬現貨狀態評估系統及方法
8有色金屬廢料中鐵磁性雜質檢測設備及檢測工藝
9高溫熔體緩冷裝置及渣包測溫方法
10便攜式礦山測量激光儀
衡水宏運壓濾機有限公司
宣傳
環磨科技控股（集團）有限公司
宣傳

發布

在線客服

公眾號

電話

頂部
咨詢電話：
010-88793500-807
專利人/作者信息登記
在线精品视频播放|无码 有码 国产18p|宅男精品一区在线观看|伊人色综合久久天天人手人婷|亚洲熟肥妇女BBXX