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光電薄膜器件的特性檢測方法

808   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:03
本申請實施例提供一種光電薄膜器件的特性檢測方法，在對待測光電薄膜器件進行制樣處理，得到切片樣品的基礎上，配置導電探針，以及與導電探針連接的開爾文探針力顯微鏡。利用開爾文探針力顯微鏡通過導電探針采集切片樣品的參數分布數據信息。利用該特性檢測方法，可得到數值化的參數分布數據信息，實現更為細微化的檢測，提高檢測的全面性，為后續待測光電薄膜器件的失效判斷提供數據依據。
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聲明：
“光電薄膜器件的特性檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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