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蝕刻缺陷檢測方法

953   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:03
本公開提供一種蝕刻缺陷檢測方法，涉及半導體技術領域。該檢測方法包括：提供襯底，襯底上依次形成有導電層以及介質層；對介質層進行蝕刻處理，以形成溝槽結構；以導電層作為陰極，采用電鍍工藝在溝槽結構內填充電鍍層，以形成待測產品；采用缺陷密度檢測組件測試待測產品，以獲取溝槽結構的頂視圖像，根據頂視圖像確定待測產品的蝕刻缺陷。本公開的蝕刻缺陷檢測方法可提高缺陷識別準確率，防止電容因懸空而失效。
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聲明：
“蝕刻缺陷檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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