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表面顆粒檢測儀量測平臺

766   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:01
一種表面顆粒檢測儀量測平臺，包括：定子結構，呈凹型設置，并在所述定子結構之凹槽內形成所述轉子結構之容置空間，且在所述定子結構之凹槽的邊沿臂內設置所述導電線圈、第一傳感器和偏載磁體；轉子結構，懸浮設置在所述定子結構之凹槽內，且在所述定子結構之磁力作用下發生轉動；支撐體，設置在所述轉子結構之一側，并用于承載所述待量測之晶圓；第二傳感器，間隔設置在所述定子結構之底部。本發明通過設置定子結構和磁懸浮設置在所述定子結構內的轉子結構，且在所述轉子結構上通過所述承載體承載所述待量測晶圓，不僅有效的避免了所述待量測晶圓的翹曲變形和背面臟污造成真空失效導致的當機，而且提高生產效率，延長設備的正常生產時間。
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