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檢測芯片內部節點電位的方法

924   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:01
本發明公開了一種檢測芯片內部節點電位的方法，包含如下步驟：選取樣品芯片，對樣品芯片的背面進行研磨至目標層次；采用化學腐蝕的方法繼續腐蝕樣品芯片的背面，至絕緣隔離層露出；采用聚焦離子束機臺，穿越絕緣層刻蝕出連接通路，并采用鉑金屬進行填充，并在連接通路的末端形成焊盤；將樣品芯片轉移至手動測試機臺，使用接地電位的探針對焊盤進行預扎針，釋放電荷；對探針施加相應的測試信號，進行樣品芯片的測試，檢測焊盤節點信號的變化。上述方法對多層次金屬互聯實現了正反面都可以實施電位檢測，改善芯片失效分析水平。
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聲明：
“檢測芯片內部節點電位的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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