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銅連接孔刻蝕不足缺陷在線檢測方法

1182   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:59
本發明涉及一種銅連接孔刻蝕不足缺陷在線檢測方法，用于在CMOS器件制備工藝中檢測銅連接孔刻蝕不足缺陷，包括如下步驟：以電子束掃描儀掃描多枚CMOS器件表面區域，檢測出各暗電壓對比度缺陷區域，同時通過失效分析分別識別各暗電壓對比度缺陷的類別，建立一暗電壓對比度缺陷類別與缺陷區域圖像灰度特征的對應關系；以電子束掃描儀掃描待檢測CMOS器件一表面區域，確定有無暗電壓對比度缺陷區域，若有，則提取該缺陷區域圖像灰度特征；根據對應關系進一步識別該缺陷區域是否為銅連接孔刻蝕不足缺陷；切換至另一表面區域繼續掃描。該方法可快速識別出CMOS器件中可能存在的銅連接孔刻蝕不足缺陷，其識別準確率高、檢測速度快。
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“銅連接孔刻蝕不足缺陷在線檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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