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檢測海水鹽度傳感器芯片制造方法

919   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:59
本發明公開了一種檢測海水鹽度傳感器芯片制造方法。涉及到藍寶石基片上制作銠電極用于檢測海水鹽度的制造方法。本發明解決了提高了海水鹽度檢測的穩定性，采用冗余設計方法，在1個藍寶石基片上制造冗余的3對檢測電極，若其中一個對電極失效，則可通過表決系統識別，另外2個對電極可繼續工作，有效提高海水鹽度芯片的使用壽命和可靠性。用本發明方法制造出的傳感器芯片可以實現海水鹽度可靠檢測，結構緊湊，冗余設計，工作模式多樣；同時，降低了傳統電極易產生電極極化而帶來的性能漂移問題，有助于保證配接二次儀表的精度，適用于海洋工程、海洋開發等應用領域。
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聲明：
“檢測海水鹽度傳感器芯片制造方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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