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判別背柵石墨烯場效應晶體管器件失效的方法

1012   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:38
本發明公開一種判別背柵石墨烯場效應晶體管器件失效的方法，先在漏極電極和源極電極之間施加500mV的電壓，在n型Si襯底和源極電極之間施加-4V~4V的柵壓，得到石墨烯場效應晶體管的轉移特性曲線，該轉移特性曲線表現為雙極性，則石墨烯場效應晶體管沒有失效；再將n型Si襯底和源極電極之間的柵壓從0V逐漸增加到10V，測試通過柵極的電流，最后在漏極電極和源極電極之間施加500mV的電壓，在n型Si襯底和源極電極之間施加掃描電壓-4V~4V，得到晶體管的轉移特性曲線，表現為單向導電性，則石墨烯場效應晶體管失效；通過測試晶體管的轉移特性曲線即可判別出該器件是否已經發生擊穿，操作簡便。
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聲明：
“判別背柵石墨烯場效應晶體管器件失效的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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