本發明公開了一種存儲器電路接觸孔層次失效點定位方法,是針對無微探針設備的機臺,先使用聚焦離子束進行線路修復,將浮空狀態的電極短接至附近具有穩定電位的節點,再進行電壓襯度分析。本發明所述的方法,使用聚焦離子束將浮空的電極短接至附近穩定電位節點,在電壓襯度進行電子束轟擊時,浮空電極上積累的電荷能被及時導走,使浮空電極極始終保持穩定的狀態,消除其對電壓襯度分析時的干擾。
聲明:
“存儲器電路接觸孔層次失效點定位方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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