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半導體器件失效定位方法

760   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:35
本發明公開了一種半導體器件失效定位方法，包括：開啟半導體器件封裝，露出器件芯片；在所述器件芯片表面涂覆液晶并加電，根據液晶顏色變化情況，確定失效點位置；對所述器件芯片進行逐層剝層直至所述失效點完全暴露；本發明驗操作簡單方便，將液晶技術引入到半導體器件失效分析中，彌補了微光顯微鏡設備昂貴的問題，同時，提出了半導體芯片干法刻蝕和濕法刻蝕中的相關參數及化學配比，能高效應用于常規Si半導體器件的剝層；將兩者有效的結合起來，能夠滿足半導體器件深層失效分析定位及失效分析的需求。
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“半導體器件失效定位方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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