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快速定位集成電路失效位置的方法及裝置

940   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:35
本發明公開了一種快速定位集成電路失效位置的方法，包括：步驟S1，導通集成電路中的任意一個包含PN結的器件，并對所述集成電路失效點施加測試信號；步驟S2，使用熱發射顯微鏡從正面和背面分別獲取所述PN結和所述失效點的深度信息；步驟S3，通過比較所述PN結和所述失效點的深度信息來判斷所述失效點的失效位置。能夠快速定位失效位置是在芯片內部還是在封裝上，提高失效分析的效率。
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聲明：
“快速定位集成電路失效位置的方法及裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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