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用于精確定位大尺寸器件的小缺陷失效地址的方法

1034   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:35
本發明涉及一種用于精確定位大尺寸器件的小缺陷失效地址的方法，所述方法包括如下步驟：步驟一，將有缺陷的樣品處理到鎢栓塞層，使用掃描電鏡觀察存在缺陷的區域器件表面結構；步驟二，掃描電鏡記錄大尺寸器件柵極/源極/漏極/襯底的表面電壓襯度；步驟三，使用納米點針臺對大尺寸器件柵極和源極/漏極的兩端進行電流量測，得到測量電流數據；步驟四，通過對比各測量電流數據，取電流最大的一組作為存在小缺陷失效地址。本發明用于精確定位大尺寸器件的小缺陷失效地址的新方法，能夠克服傳統分析方法在含有小缺陷的大尺寸器件精確定位中的困難，使得小缺陷的大尺寸器件失效位置的定位更加精確，便捷。
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