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用于多晶硅層的失效點定位的方法

1195   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:34
本發明公開了一種用于多晶硅層的失效點定位的方法，包括：提供樣品；將所述樣品進行去層處理至多晶硅層上的層間介質層；對所述樣品的表面進行清潔處理；利用電勢對比定位法對所述樣品進行多晶硅層的失效點定位。本發明由于保留了一定厚度的多晶硅層上的層間介質層，所以避免了對多晶硅層的損傷；由于采用了超聲波震蕩方法在離子水中對樣品表面進行清潔，所以避免了清潔過程中對樣品表面的損傷；由于采用了較大的一次電子束的加速電壓進行電勢對比觀測，所以能夠快速的定位多晶硅層的失效點。本發明的方法適用于大尺寸多晶硅陣列的失效點定位，可快速地在掃描結果中準確地找到失效點的位置，節省了芯片失效分析的時間，提高了分析效率。
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聲明：
“用于多晶硅層的失效點定位的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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