本發明公開一種測定深溝槽失效深度的方法,包括步驟:準備試樣且獲得失效的深溝槽在樣品中的位置;在聚焦離子束樣品臺轉動到預定角度時,在深溝槽的一側預定距離處采用垂直于樣品表面的離子束切割出凹坑;轉動聚焦離子束樣品臺,采用與樣品表面傾斜成預定角度的離子束切割包括失效深溝槽在內的樣品,并且采用垂直于樣品表面的電子束觀看失效深溝槽的頂部圖像。本發明可以節省對于深溝槽失效深度的分析時間且提高分析的準確度和成功率。
聲明:
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