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三維存儲器的確定失效溝道孔的方法及測試樣品

768   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:33
該發明公開了一種三維存儲器的確定失效溝道孔的方法及測試樣品，所述方法包括：提供一具有失效溝道孔的失效芯片；確定漏電的失效字線層，對位于所述失效字線層兩側的所述失效芯片進行減薄，以制備測試樣品；對測試樣品的溝道孔進行電壓襯度分析以找出具有異常電壓襯度的溝道孔，確定失效溝道孔，根據本發明實施例的三維存儲器的確定失效溝道孔的方法，能夠準確快速地檢測到失效溝道孔，且能夠準確檢測到輕微漏電和較小缺陷的失效溝道孔，從而能夠及時有效地找出失效原因，以提高產品成功率。
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聲明：
“三維存儲器的確定失效溝道孔的方法及測試樣品” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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