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用于芯片失效分析的圖像采集方法及系統

1171   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:31
本發明公開了一種用于芯片失效分析的圖像采集方法及系統。該方法包括：根據金相顯微鏡（OM）或掃描電鏡(SEM)機臺提供的通信接口和相關的編程接口，編寫上位機應用程序實現：控制金相顯微鏡機臺/掃描電鏡機臺載物臺上的芯片按照用戶設置的參數移動，并在其移動過程控制金相顯微鏡機臺的相機對該芯片的不同部位進行持續拍攝、自動保存拍攝所得的圖像。通過本發明提供的技術方案能夠實現采用金相顯微鏡機臺/掃描電鏡機臺對其載物臺上的芯片的不同位置進行自動、持續拍攝并保存相關圖像，實現對失效芯片的大范圍、高效率地圖像采集。
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聲明：
“用于芯片失效分析的圖像采集方法及系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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