本發明提供了一種芯片固定裝置及制備失效分析樣品的方法,通過將芯片樣品貼附于芯片固定裝置上,通過固定芯片樣品提供化學研磨過程中需要的反摩擦力和反離心力,實現自動化學研磨,從而實現批量自動制備失效分析樣品,提高了失效分析樣品預處理的效率,提高了失效分析樣品制備的成功率,同時節省了人力資源;同時,在壓力調節裝置中設置有彈簧,通過調節閥調節彈簧的松緊,從而調節施加在化學研磨平臺上的壓力,實現化學研磨速度的調節,提高了化學研磨的效率。
聲明:
“芯片固定裝置及制備失效分析樣品的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)