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基于透射電子顯微鏡的陶瓷材料失效分析方法

977   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:30
本發明公開了一種基于透射電子顯微鏡的陶瓷失效分析方法，利用透射電子顯微鏡進行失效分析的陶瓷制樣方法，包括如下步驟：1)將失效陶瓷樣品切割為均勻薄片；2)將得到的圓片研磨到厚度為70-90μm，并在圓片的中央部位磨成深度為50-70μm的凹坑；3)將步驟2)中得到的帶有凹坑的圓片放入離子減薄儀中進行減薄。將減薄后的試樣進行鍍金屬膜；利用透射電子顯微鏡對步驟2)得到的試樣進行觀察，并進行EDS分析，分析陶瓷材料失效的原因；本發明打破了常規的表面觀察法，在高倍數下觀察失效材料的表面和內部的形貌，精確地做出成分分析，可以不破壞原子結構的基礎上觀察不同原子間的結構及內部細小的裂紋，準確地確定失效的具體位置及失效的真正原因。
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