合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置：中冶有色 >

有色技術頻道 >

有色金屬技術

礦山技術

冶金技術

材料制備及加工技術

環境保護技術

分析檢測技術

> 分析檢測技術

> 失效分析技術

> 晶圓研磨方法及晶圓失效分析方法

晶圓研磨方法及晶圓失效分析方法

754   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:30
本發明涉及一種晶圓研磨方法及晶圓失效分析方法。所述晶圓研磨方法包括如下步驟：提供初始晶圓，位于所述初始晶圓的邊緣的裸芯片中具有測試地址；形成重組晶圓，使得具有所述測試地址的裸芯片位于所述重組晶圓的中部；進行至少一次如下循環步驟，所述循環步驟包括：于所述重組晶圓暴露的當前層上形成保護層，所述保護層至少位于所述測試地址上方；研磨所述重組晶圓中未被所述保護層覆蓋的所述當前層；去除所述保護層和所述保護層下方殘留的所述當前層；判斷所述測試地址是否暴露，若否，則以暴露的所述下一層作為下一次循環步驟的當前層。本發明能夠使得測試地址能夠完整、平坦的暴露，減少甚至是避免了柵極本體的漏電問題。
登錄解鎖全文
聲明：
“晶圓研磨方法及晶圓失效分析方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
分享 0
         
舉報 0
收藏 0
反對 0
點贊 0
標簽：
失效分析
上一個：三維存儲器的失效分析方法
下一個：芯片的失效分析方法及裝置、電子設備、存儲介質

與 “晶圓研磨方法及晶圓失效分析方法” 相關技術

? 冶金爐的窯爐體膨脹自動監測裝置
? 富集紅土鎳礦中鎳和鈷的方法
? 鈦鐵礦同時生產低碳純鐵、鈦白粉和高端海綿鈦的系統和方法
? 釩鈦鐵礦同時生產低碳純鐵、硫酸氧釩、鈦白粉和高端海綿鈦的系統及方法
? 礦石處理方法
? 銻基負載吸附劑低堿耗解析方法
? 含鎳溶液中鐵、鉻雜質的去除工藝
? 濕法冶金電解槽電壓數智化監測系統
? 濕法冶金中的除鐵方法
? 海綿狀金屬強制定量上料裝置

相關失效分析設備推薦

50kN四立柱環剛度試驗機
球團壓力試驗機
SMT在線式X-ray檢查機
小型手動彈簧拉壓測試儀
便攜式VOC檢測儀
全國熱門有色金屬技術推薦
江蘇通用技術 北京礦山技術 江蘇冶金技術 北京冶金技術 江蘇材料制備及加工技術 常州材料制備及加工技術 江蘇新能源材料技術 江蘇加工技術 北京材料制備及加工技術 福建材料制備及加工技術 江蘇環境保護技術 江蘇廢水處理技術 江蘇固/危廢處置技術 北京環境保護技術 北京廢水處理技術
展開更多 +

 

中冶有色技術平臺

最新更新技術

?冶金爐的窯爐體膨脹自動監測裝置
?富集紅土鎳礦中鎳和鈷的方法
?鈦鐵礦同時生產低碳純鐵、鈦白粉和高端海綿鈦的系統和方法
?釩鈦鐵礦同時生產低碳純鐵、硫酸氧釩、鈦白粉和高端海綿鈦的系統及方法
?礦石處理方法
?銻基負載吸附劑低堿耗解析方法
?含鎳溶液中鐵、鉻雜質的去除工藝
?濕法冶金電解槽電壓數智化監測系統
?濕法冶金中的除鐵方法
?海綿狀金屬強制定量上料裝置

報名參會
更多+

第二屆全國鹽湖資源綜合利用與綠色發展創新論壇
第二屆全國鹽湖資源綜合利用與綠色發展創新論壇
2025年07月09日 ~ 11日
第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
2025年07月11日 ~ 13日
2025全國有色金屬材料加工與成形技術交流大會
2025全國有色金屬材料加工與成形技術交流大會
2025年07月16日 ~ 18日
2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
2025年07月16日 ~ 18日
2025全國稀有&貴金屬礦冶技術交流會
2025全國稀有&貴金屬礦冶技術交流會
2025年07月17日 ~ 19日

報告下載

1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取
下載:139
2 取、制樣安全淺析
下載:131
3 取、制樣現狀及未來規劃/需求
下載:108
4 自動化樣品制備助力準確高效的礦
下載:99
5 樣品變質引起采制樣和結算問題
下載:95
6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點
下載:95
7 礦產品人工取樣方案的制定及案例
下載:93
8 用于X熒光分析的樣品前處理及其
下載:91
9 不均勻樣品給第三方檢測機構和貿
下載:90
10 非常規礦產品取制樣方法的探討
下載:89
赤泥綜合利用研究報告2025
推廣

熱門技術
更多+

1防爆閥保護膜
2壓力平衡機構
3水電站的尾水預埋件
4化工礦產有色金屬的檢測機構
5礦石分類與實時定量分析的光譜檢測新方法
6礦石中有色金屬成分和含量的檢測裝置
7有色金屬現貨狀態評估系統及方法
8有色金屬廢料中鐵磁性雜質檢測設備及檢測工藝
9高溫熔體緩冷裝置及渣包測溫方法
10便攜式礦山測量激光儀
衡水宏運壓濾機有限公司
宣傳
環磨科技控股（集團）有限公司
宣傳

發布

在線客服

公眾號

電話

頂部
咨詢電話：
010-88793500-807
專利人/作者信息登記
在线精品视频播放|无码 有码 国产18p|宅男精品一区在线观看|伊人色综合久久天天人手人婷|亚洲熟肥妇女BBXX