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制備失效分析樣品的方法

853   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:30
本申請提供了一種制備失效分析樣品的方法。該方法包括：步驟S1.提供樣品，該樣品的待測表面分為第一表面區域和第二表面區域；步驟S2.利用油性物質將第一表面區域覆蓋；步驟S3.在第二表面區域設置多個通孔，通孔延伸至樣品的基底表面；步驟S4.在待測表面和通孔中設置金屬；以及步驟S5.去除油性物質。本申請提供的方法通過在去除覆蓋在第一表面區域的油性物質時同時去除附著在其上的金屬，從而使第一表面區域的樣品表面裸露；而第一表面區域在受到轟擊時產生二次電子，與二次電子對應的正電荷被位于其周圍的金屬導出，由此產生的二次電子成像能夠反映該處的原始表面形貌。
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聲明：
“制備失效分析樣品的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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