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對失效芯粒的自動分析方法及系統

784   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:29
本發明涉及一種對失效芯粒的自動分析方法及系統，所述方法包括以下步驟：收集待測晶圓的WAT數據及CP數據，進行數據分析處理，所述WAT數據為待測警員的電性測試數據，所述CP數據為待測晶圓上每一個芯粒的測試數據；根據待測晶圓不同的WAT測試項目、測試坐標將待測晶圓的WAT數據生成對應測試項目的WAT?mapping圖；根據待測晶圓不同的CP測試項目、測試坐標將待測晶圓的CP數據生成對應測試項目的CP?mapping圖，并根據生成的CP?mapping圖單獨提取與WAT相對應shot位置的數據，形成新的CP?WAT?mapping圖；將待測晶圓的WAT?mapping圖與CP?WAT?mapping圖進行比對，計算得到WAT?mapping圖與CP?WAT?mapping圖的相似值，并根據計算得到的相似值大小排序，判斷出待測晶圓的CP測試項目與WAT測試項目的相關性。節省人力物力，提高效率。
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