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對失效芯粒的自動(dòng)分析方法及系統

774   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色網(wǎng)  
2023-03-19 08:59:29
本發(fā)明涉及一種對失效芯粒的自動(dòng)分析方法及系統,所述方法包括以下步驟:收集待測晶圓的WAT數據及CP數據,進(jìn)行數據分析處理,所述WAT數據為待測警員的電性測試數據,所述CP數據為待測晶圓上每一個(gè)芯粒的測試數據;根據待測晶圓不同的WAT測試項目、測試坐標將待測晶圓的WAT數據生成對應測試項目的WAT?mapping圖;根據待測晶圓不同的CP測試項目、測試坐標將待測晶圓的CP數據生成對應測試項目的CP?mapping圖,并根據生成的CP?mapping圖單獨提取與WAT相對應shot位置的數據,形成新的CP?WAT?mapping圖;將待測晶圓的WAT?mapping圖與CP?WAT?mapping圖進(jìn)行比對,計算得到WAT?mapping圖與CP?WAT?mapping圖的相似值,并根據計算得到的相似值大小排序,判斷出待測晶圓的CP測試項目與WAT測試項目的相關(guān)性。節省人力物力,提高效率。
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