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三維存儲器失效分析樣品制備方法

771   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:29
本發明涉及集成電路的失效分析技術領域，且公開了一種三維存儲器失效分析樣品制備方法，包括以下步驟：步驟一、對封裝進行電測試，根據電測試結果確認失效位置，并記錄下失效的log，使用封裝開封技術去除待分析芯片上方的塑封料(EMC)及芯片。本發明利用實時圖像采集及拼接技術，將真實芯片與設計圖紙進行比對，并進行位置修正，確定失效精確位置后，縮小目標區域，通過階梯開口方式，精確掌握垂直層數，最終實現快速定位及分析，通過對實際芯片的位置修正和定位，能夠更準確及快速的實現失效位置確定，大大縮減了誤判的發生率，并且由于定位準確，失效目標區域可以盡可能縮小，提高了分析操作效率。
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“三維存儲器失效分析樣品制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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