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使用聚焦離子束于供物性失效分析的多層半導體中曝露所欲層的方法

1012   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:29
一種針對包含多個晶粒的半導體晶片或封裝品的缺陷檢測方法,這種方法包括對半導體晶片或封裝品進行電性失效分析;確認該多個晶粒的至少一個晶粒中的缺陷;在該至少一個缺陷晶粒中確認要進行分析的目標層;以聚焦離子束設備移除已確認的缺陷晶粒的至少一上方層;以及曝露出將供物性缺陷分析的整個目標層。
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