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高穩定性單晶硅壓差傳感器

1067   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:26
本發明公開了一種高穩定性單晶硅壓差傳感器，所述高穩定性單晶硅壓差傳感器包括有傳感器殼體，所述傳感器殼體包括有傳感器正壓腔，傳感器負壓腔，以及設置于傳感器殼體內部的傳感器芯片；傳感器正壓腔中設置連通至傳感器芯片下端面的第一通油孔，傳感器負壓腔中設置有連通至傳感器芯片上端面的第二通油孔；所述傳感器殼體中設置有，由傳感器殼體外部分別連通至第一通油孔與第二通油孔的充油管道；所述傳感器芯片連接有電性接口；采用上述技術方案的高穩定性單晶硅壓差傳感器，其可通過硅油進行壓力的無損傳遞，以實現對壓力差的精確測量，從而有效改善了壓差傳感器的靜壓性能，進而使得上述壓差傳感器的工作穩定性得以提高。
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聲明：
“高穩定性單晶硅壓差傳感器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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