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基于紅外成像定位法的集成電路修補裝置及方法

852   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:26
本發明公開了一種基于紅外成像定位法的集成電路修補裝置及方法。該集成電路修補裝置包括紅外成像定位單元和集成電路修補單元。紅外成像定位單元用于對被測的集成電路進行失效點定位。集成電路修補單元用于對所述失效點進行電路修補。所述基于紅外成像定位法的集成電路修補裝置及方法能夠對集成電路無損傷地進行失效點的快速精準定位且能夠觀察到集成電路的內部結構，提高失效定位成功率以及修補效率。
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聲明：
“基于紅外成像定位法的集成電路修補裝置及方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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