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異形金屬基底上的應變傳感器芯片及其原位制備方法

1198   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:25
本發明提供一種異形金屬基底上的應變傳感器芯片及其原位制備方法，將異形金屬構件作為金屬基底，在金屬基底的易變形部位上原位制備薄膜敏感柵，包括：設置于金屬基底上的絕緣隔離層；設置于絕緣隔離層上的薄膜應變柵層；設置于薄膜應變柵層上方的絕緣保護層，絕緣保護層覆蓋薄膜應變柵層的應變柵區域，同時露出薄膜應變柵層的引線電極；當異形金屬構件發生變形時，薄膜應變柵層的電阻值會產生變化，通過薄膜應變柵層電阻值的變化能得到異形金屬構件所受的物理量。本發明基于異形金屬基底上原位制備，能夠實現機械傳動部件應變/扭矩的原位、無損傷測量，且省去了傳統粘結劑的使用，在高濕、鹽霧、霉菌等海洋環境和太空輻照等環境具有更高的可靠性。
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“異形金屬基底上的應變傳感器芯片及其原位制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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