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OLED面板激光剝離裝置

1172   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:24
本發明公開了一種OLED面板激光剝離裝置，激光發射裝置用于發射激光束；分束器將激光器發射的激光束分為第一激光束和第二激光束；第一激光束依次經過第一擴束器、第一整形器、轉折聚焦組件后形成剝離用激光束，第二激光束由分束器分出后經反射器轉折為與原光路平行的激光繼續向前傳播經第二擴束器及第二整形器后，再經分光聚焦組件后分為清洗用激光束和第三激光束，第三激光束進入整形折疊聚焦組件，轉折后形成翹曲測量用激光束，垂直入射到襯底基板表面，用于做襯底基板的翹曲測量，本發明兼容大尺寸面板與小尺寸面板的激光無損剝離柔性基板的裝置，可以避免在激光剝離過程中面板翹曲不平，基本表面污染造成的剝離能量不均勻及熱積累的問題。
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聲明：
“OLED面板激光剝離裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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