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Mirau型超分辨率干涉顯微物鏡

777   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 08:59:24
本發明公開了一種Mirau型超分辨率干涉顯微物鏡,利用干涉顯微物鏡實現亞納米級軸向分辨率,利用微球透鏡突破衍射極限,實現二維橫向超分辨。本文提出將干涉顯微物鏡和微球透鏡相融合的超分辨干涉顯微物鏡,在干涉顯微物鏡和待測樣品之間加入微球透鏡,優化設計參考平板、分光平板、顯微物鏡的參數,獲得清晰的三維超分辨干涉條紋,實現三維高分辨率成像。本方法能夠以簡單的光學手段實現橫向超分辨,獲取待測微結構的三維高分辨信息,無需對樣品進行復雜的標記處理,可以實現快速、無損的測量,具有很強的實用價值。
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