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基于相干層析的太赫茲成像裝置

913   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:22
本發明公開了一種基于相干層析的太赫茲三維成像裝置，該裝置包括太赫茲源、太赫茲波準直系統、邁克爾遜干涉系統和探測系統，準直系統對太赫茲源產生的波進行準直，邁克爾遜干涉系統用于將準直后的太赫茲波入射到分束鏡上分為樣品光和參考光，通過參考臂的掃描和樣品臺的移動，改變參考光和樣品光的光程差，實現了對樣品的不同部位、不同深度的掃描；探測系統用于對干涉信號進行探測處理，并控制參考臂上下掃描和樣品臂左右掃描，實現太赫茲相干層析成像。本發明利用寬頻太赫茲的弱相干原理，可以實現對待測樣品的高精度三維圖像重構，具有較高的縱向分辨率和更加廣泛的應用領域，尤其是在高精度的材料無損探測領域具有非常巨大的應用前景。
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