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高分辨率表面等離子體顯微鏡

760   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:51
本發明公開了一種高分辨率表面等離子體顯微鏡(SPM)，該顯微鏡能對待測微納樣品實現高精度、高分辨率的無損檢測。包括表面等離子體光學系統、位移操控系統、圖像處理系統。表面等離子體光學系統通過微納位移操作系統實現樣品的聚焦以及橫向方向上的逐點掃描，由圖像傳感器記錄該點樣品在顯微物鏡后焦面上的反射圖譜，并由圖像處理系統對該圖譜的表面等離子體信號進行自動提取，從而實現樣品特征的表征和表面形貌的重構。該顯微鏡在橫向上可達到亞微米級別的分辨率，在縱向上可達到亞納米級別的分辨率。
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“高分辨率表面等離子體顯微鏡” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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