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半導體芯片制造中貴金屬襯板的清洗回收方法

1080   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:48
本發明公開了一種半導體芯片制造中貴金屬襯板的清洗回收方法，先對環保型浸金藥劑金蟬溶液和堿性藥劑進行凈化處理，隨后對表面鍍層金進行充分溶出；再進行其他鍍層金屬的溶出完成鍍層剝離；最后進行金的提取回收與襯板基材的超聲無損清洗處理，襯板基材再經真空烘干，表面外觀質量檢測合格后真空包裝入庫。本發明具有在實現貴金屬回收的同時對襯板基材無損害、操作簡單高效、作業安全環保的特點。
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聲明：
“半導體芯片制造中貴金屬襯板的清洗回收方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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