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激光掃描熱波層析成像系統與方法

832   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:41
本發明涉及一種紅外熱波層析成像無損檢測系統，采用高功率激光束，由激光掃描裝置對樣品的表面進行快速掃描，實現脈沖熱激勵。本發明系統包括數據采集單元、掃描控制單元、高功率激光器、紅外熱像儀、激光掃描裝置等。激光器輸出光束在樣品表面上進行掃描，激發的熱波信號由紅外熱像儀成像并送到數據采集控制單元。數據采集控制單元同時控制振鏡和紅外熱像儀，使得激光束掃描的行頻和紅外熱像儀的讀出行頻一致，但幀頻之間有一步進的延遲增量。目前的紅外熱波層析成像的采樣周期受限于紅外熱像儀的幀頻，本發明采用激光移相掃描技術有效地解決了這個問題，使得檢測的時間分辨率大幅提高，采樣周期從傳統的幀頻提高到行頻，達到微秒量級，十分有利于淺層缺陷的檢測。
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