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薄膜材料熱導率的測量方法

1206   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:38
本發明涉及一種薄膜材料熱導率的測量方法。利用點狀脈沖加熱裝置對待測樣品進行加熱，同時利用熱成像儀對其加熱區域進行溫度測量，然后將其空間溫度分布結果導入通用計算軟件中進行非線性曲面擬合，得出一維時間空間溫度分布函數u＝f(x，t)，其中，u是關于空間(x)和時間(t)的二元函數，℃；x為測量點距熱源中心的距離，單位為mm；t為加熱時間,s；最后將方程代入一維熱傳導方程中進行熱導率求解；其中，k為熱導率，c、ρ分別為密度和比熱。本發明減少了界面熱阻對測試結果精確度的影響，且對樣品無損傷；溫度測量結果可以直接進行非線性曲面擬合，可直接得出一維時間空間溫度分布函數，對樣品種類、厚度和有無襯底無特別要求。
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