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混合維度范德華異質結室溫雙色紅外探測器

1093   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:38
本專利公開了一種混合維度范德華異質結室溫雙色紅外探測器。器件的制備步驟是利用一定比例的氫氟酸和氟化銨制備的緩沖氧化物刻蝕液刻蝕雙面拋光的Si/SiO2，形成Si窗口。利用聚碳酸亞丙酯薄膜無損轉移的二維范德華材料異質結至Si窗口形成PNP(NPN)異質結構。利用光電三極管能帶結構實現雙波段紅外信號探測，同時利用Si材料高吸光率作為近紅外光敏材料和長波通濾波片來降低串擾，提升器件雙波段紅外響應。本專利的特點是將三維薄膜材料與二維范德華材料相結合，實現近紅外/中紅外室溫探測，制作成本低、工藝簡單易制備、探測率高、工作溫度高。
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聲明：
“混合維度范德華異質結室溫雙色紅外探測器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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