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晶圓表面金屬膜厚度測量方法

1076   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:38
本發明提供一種晶圓表面金屬膜厚度測量方法，其包括如下步驟：獲得常數參數：在晶圓表面的兩個預設點處，獲得聲波在晶圓表面金屬膜內傳播的時間差；獲得所述兩個預設點處的表面高度差；將所述高度差及所述時間差的比值作為所述常數參數；晶圓表面金屬膜厚度測量：在晶圓表面的測量點處，獲得聲波在晶圓表面金屬膜內傳播的時間，以所述時間與所述常數參數的乘積作為所述測量點處的金屬膜厚度。本發明測量方法能夠實時監測晶圓表面金屬膜的厚度，且測量準確度高，大大提高了產能，節約了成本；并且，無需破壞晶圓即可獲得兩個預設點處的表面高度差，避免晶圓被破壞，提供了一種無損測量方法。
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聲明：
“晶圓表面金屬膜厚度測量方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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