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芯片測試定位裝置

736   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:38
本實用新型公開了一種芯片測試定位裝置，主動結構和固定結構之間形成有晶圓放置區和空隙區，空隙區位于晶圓放置區外，晶圓放置區用于放置具有待測試芯片的晶圓；主動結構相對于固定結構可移動設置，用于調整晶圓放置區的大??；主動結構在晶圓放置區處設有第一弧形邊緣，固定結構在晶圓放置區處設有第二弧形邊緣，各抵柱用于分別抵接晶圓的邊緣空位以共同固定晶圓?？梢圆捎靡粋€芯片測試定位結構來定位晶圓，也可以同時采用多個芯片測試定位結構來定位多個晶圓以供測試芯片，可以實現可擴展定位來提升測試效率，還可以應用于各種不同規格的晶圓，提升了產品的適用性，實現了無損傷定位，必要時還可以用于對晶圓兩面同時進行測試。
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聲明：
“芯片測試定位裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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無損檢測
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