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激光探測集成電路內部電平狀態的系統

921   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:38
本發明公開了一種激光探測集成電路內部電平狀態的系統，包括：連續激光器、光學模塊、物鏡、三維移動臺、測試機、光電探測器、放大器、信號分離器、信號提取器、控制計算機、移動臺控制箱；本發明利用激光穿過芯片背部硅襯底無損直接探測其內部節點電平狀態，時間分辨率高，可大面積二維掃描芯片，采用基于硅基半導體器件固有不對稱性的共光路探測方案，能實現集成電路內部特定頻率工作點的定位和電平狀態變化波形提取。
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“激光探測集成電路內部電平狀態的系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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