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基于石墨烯電荷耦合器件的輻射探測器

1002   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:38
本發明公開了一種基于石墨烯電荷耦合器件的輻射探測器，由若干像素組成陣列，單個像素包括柵極、半導體襯底、絕緣層、源極、漏極、石墨烯薄膜和隔離。輻射粒子由背部入射后被半導體襯底吸收，產生與入射能量成正比的電子空穴對，其中少子積累到由脈沖柵壓產生的深耗盡勢阱中，石墨烯耦合出與勢阱中空穴對應的等量電子，通過監測石墨烯電流讀出勢阱中的載流子數量，像素間設有隔離防止串擾。由于石墨烯薄膜的特殊性質，其通過電容性耦合有效收集載流子，產生的電流信號直接從單個像素結構輸出，實現隨機無損讀出，無需采用傳統電荷耦合器件的像素之間橫向轉移電荷方式，且石墨烯本身具有增益效應，從而提高輻射探測靈敏度和探測極限。
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“基于石墨烯電荷耦合器件的輻射探測器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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