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基于微波透射法的金屬薄膜厚度測量方法

1004   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:38
本發明公開了一種基于微波透射法的金屬薄膜厚度測量方法，包括如下步驟：選取與待測樣品工藝參數相同的樣品作為校準樣品；測量校準樣品的方塊電阻、膜厚、插損；依據校準樣品測試數據獲得金屬薄膜插損?膜厚關系曲線；測量待測樣品的插損；依據插損?膜厚關系曲線和待測樣品的插損計算得到待測樣品的金屬薄膜厚度。本發明實現無損測量金屬膜厚，而且能廣泛應用于集成電路、太陽能電池、探測器等領域，具有一定的普適性。
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“基于微波透射法的金屬薄膜厚度測量方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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