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基于數字散斑干涉的曲面物體離面形變測量方法及裝置

737   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:37
一種基于數字散斑干涉的曲面物體離面形變測量方法及裝置，其特征是通過對曲面物體進行40～50度入射照明并采集光束偏轉前、后以及相移前后的散斑圖獲取曲面的三維形貌，根據三維形貌計算得到曲面上任意點的法線矢量，然后通過對待測曲面進行加載，進一步得到待測曲面變形前后的不同散斑圖，結合形貌測量獲得曲面物體表面任意一點的法線矢量，測得沿法線方向的離面形變。本發明能夠對三維形貌和離面形變實現綜合測量，是一種無損，全場，高效的數字散斑干涉測量方法。
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